二氯硅烷;DichIorosilane.
  2.用途:
  電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。
  3.制法:
  (1)硅烷或一氯硅烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應(yīng)。 (2)在高溫下,硅與氫及氯..." />

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二氯二氫硅的物化性和危害及防范措施

首頁 > 行業(yè)資訊 > 安全技術(shù) > 化工安全 閱讀: 發(fā)布時間:2014年08月05日
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